期刊文献+

高精度碳膜电阻温度系数的研究

下载PDF
导出
摘要 随着微电子技术的飞跃发展,对薄膜集成电路,半导体集成电路的功能、集成度、精度、可靠性和使用寿命等,都提出了越来越高的要求。薄膜混合集成电路中的薄膜电阻无源器件,具有参数精度高、温度系数小、噪声系数低、高频特性好、可靠性高等特点,得到了广泛应用。本文主要论述了薄膜电阻的制作工艺对温度系数的研究。
作者 黄炳 周涛林
出处 《科技风》 2014年第24期46-46,共1页
关键词 碳膜 TCR 温度系数
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献4

  • 1Lei J F,Martin L C,Will H A.Advances in thin film sensor technologies for engine applications [R].NASATM-107418,Orlando: ASME,International Gas Turbine and Aeroengine Congress and Exhibition,1997.
  • 2Wrbanek J D,Fralick G C,Martin L C,et al.A thin film multifunction sensor for harsh environments [R].NASA/TM-2001-211075,Cleveland:National Aeronautics and Space Administration,2001.
  • 3Chelner H.Embedded sensor technology for solid rocket health monitoring[R].MR-02-221,Simi Valley: Micron Instruments,2002.
  • 4吕惠民,田敬民.压力传感器的研究现状与发展趋势[J].半导体技术,1998,23(2):11-13. 被引量:9

共引文献2

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部