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多线切割工艺断线问题的分析
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摘要
在多线切割工艺中,镀铜金属线对硅单晶切割片的质量有着重要影响,成为多线切割工艺需要控制的重要辅料。断线问题一直是困扰多线切割工艺人员的主要问题之一,一直得不到有效的解决,本文从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析,并给出相应的解决措施。
作者
苗广志
马玉通
赵文华
机构地区
中国电子科技集团公司第四十六研究所
出处
《科技资讯》
2014年第26期73-73,共1页
Science & Technology Information
关键词
硅
钢线断线
多线切割
钢线破断力
分类号
TH132 [机械工程—机械制造及自动化]
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