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力学所建成高能冲击磁控溅射装备系统并开放服务
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摘要
表面工程提高材料摩擦磨损、耐腐蚀性能的同时,还赋予材料新的表面功能,为解决人类发展中遇到的资源、能源等问题起到了不可替代的重要作用。作为表面工程领域的重要分支,我国亟需提升物理气相沉积(PVD)的技术能力。
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2015年第2期81-81,共1页
Electronic Components And Materials
关键词
装备系统
磁控溅射
服务
高能
力学
物理气相沉积
表面工程
耐腐蚀性能
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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