汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统

本课题目标是针对汽车ESP系统高性能、低成本和高可靠性的应用目标，突破MEMS传感器系统集成、低成本批量制造、高可靠性等关键技术，形成规模化制造能力，开发出具有自主知识产权的MEMS陀螺仪和MEMS加速度传感器实用新产品，开发出ESP系统，实现MEMS传感器的验证和批量应用。