12%效率大尺寸非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池在理想能源VHF-PECVD设备上的开发

随着人类对能源需求的日益增加,太阳能作为一种可再生能源,越来越受到业界的广泛关注。其中硅基薄膜太阳能电池由于其材料成本低,环境污染少、弱光效应好、制备工艺简单、以及可弯曲、便于连续大规模生产等优点,已成为解决能源危机与环境污染综合治理的有效途径。非晶/微晶硅叠层薄膜太阳能电池,即以非晶硅为顶电池,微晶硅为底电池的新型结构,是目前获得高效率高稳定性硅基薄膜太阳电池的最佳途径。