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发明与专利
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摘要
一种基于有机薄膜晶体管二氧化氮气体传感器的制备方法 【摘要】本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管二氧化氮气体传感器的制备方法,包括以下步骤:先对衬底进行彻底清洗,清洗后干燥;在衬底的表面制备栅电极,形成栅电极的图形;
出处
《传感器世界》
2015年第1期52-53,共2页
Sensor World
关键词
发明
有机薄膜晶体管
气体传感器
专利
制备方法
二氧化氮
表面制备
栅电极
分类号
TP212-18 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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