激光干涉仪在万能工具显微镜检定中的应用及不确定度分析

一、前言 万能工具显微镜示值误差检定是以标准线纹尺进行比较,该方法对环境温度要求较高,JJG56-2000《工具显微镜检定规程》规定,检定万能工具显微镜时,仪器室内温度应为（20±1）℃,每小时温度变化不超过0.5℃,标准线纹尺在室内平衡温度时间应不少于4h,被检仪器和标准器具的温度差不超过0.5℃。