重掺锑直拉单晶硅的掺氮效应

本文研究了Si3N4熔融掺氮条件下重掺锑直拉单晶硅的性质。实验结果表明,掺氮重掺锑直拉单晶硅比一般的重掺锑直拉单晶硅具有更低密度的0.2-0.3μm尺寸COP,经过高温热处理之后,HSb-NCZSi具有更高的与氧沉淀相关的体微缺陷密度,此外,其对应硅片的机械强度也比HSb-CZSi增强。