基于聚合物光致膨胀的SED显示器电子发射源纳米缝阵列制造工艺研究

1．项目简介 表面传导电子发射显示器（SED）是液晶显示器和等离子显示器之后的下一代平板显示器候选技术之一，电子发射源纳米缝阵列成形则是 SED 显示器面板的核心制造工艺。本项目基于聚合物的光致分解理论，提出了采用紫外激光诱导薄膜定域膨胀开裂和激光大面积扫描的纳米缝阵列制造技术。将通过对激光脉冲作用下聚合物的膨胀行为和膨胀应变作用下电子发射薄膜材料的微观断裂机理的研究，探索纳米缝结构的高效、可控成形工艺；在此基础上探索纳米缝结构特征对电子发射特性的影响规律，实现电子发射极的薄膜结构优化。另外，在大面积纳米缝阵列制造过程中，本项目跳出已有研究中控制纳米缝尺度或形状的思路，采取直接控制隧道电流的方式以提高发射源阵列发射特性的一致性，从而保证大面积像素的均匀显示。