Aerotech发布精确的QNP-XY纳米级定位平台

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摘要近日，Aerotech发布QNP．XY系列压电纳米级定位平台，为诸如从显微镜到光学定位之类要求最苛刻的应用提供分辨率、线性度、重复性和高动态等方面的特性。0．15nm的分辨率、0．007％的线性度以及2nm的重复性，保证了纳米级的精度。与其他类似尺寸和行程的平台相比，该平台具有最高的动态性能（谐振频率和刚度）.

出处《伺服控制》 2015年第1期10-10,共1页 Servo Control

关键词定位平台纳米级光学定位谐振频率动态性能分辨率线性度重复性

分类号 TP27 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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