摘要
本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成Si Nx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法。
This paper introduces the PECVD technology to reduce the reflection on the surface of the solar cells, and the crystalline silicon surface passivation treatment. Moreover, it indicates how to apply PECVD technology to large industrial produstrial production of solar cells and analyzes abnormal phenomenon and its common treatment method of PEVCD products.
出处
《自动化技术与应用》
2015年第2期85-87,96,共4页
Techniques of Automation and Applications
基金
陕西国防工业职业技术学院自然科学类研究项目<太阳能光伏发电系统的控制设计与实现>的成果之一
(项目编号:Gfy 14-07)
关键词
PECVD
钝化
太阳电池
多晶硅
PECVD
passivation
solar cell
polycrystalline silicon
