利用NanoScribe制作三维微结构材料及其相关物理性质的模拟

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摘要本文介绍了一种利用材料双光子吸收效应进行三维微结构加工的新型三维微结构加工技术,并对其原理进行了阐释.并在总结实验经验的基础上,对于一个简单的FFT模型(Four-Foot Table Model)进行了双光子三维微结构材料的光刻制作,并用三维电磁场仿真软件CST对结果进行了模拟.

作者徐振洋

机构地区南京大学

出处《赤峰学院学报（自然科学版）》 2015年第5期134-136,共3页 Journal of Chifeng University(Natural Science Edition)

关键词双光子吸收三维微结构加工快速加工制备技术

参考文献5

1Madou, M., Fundamentals of Microfabrication: The Sci- ence of Miniaturization, 2nd ed. CRC Press,2001. Boca Raton.
2Menz, W., Mohr, J., Paul, O., Microsystem Technolo- gy,2nd ed. Wiley-VCH, 2001. Weinhein Germany.
3Sheats, J.R., Smith, B.W., Microlithography-Science and Technolom~. Marcel Dekker, 1998. New York.
4Moreau, W.M., Semiconductor Lithography: Physics and Materials. Plenum, 1988. New York.
5崔峥.微纳米加工技术及其应用.北京:高等教育出版社2009.

1董贤子,段宣明.双光子三维微结构快速制备技术[J].光学精密工程,2007,15(4):441-446. 被引量：11
2马卫国.快束加工印刷电路板一绝[J].家庭电子,2005(01X):53-53.
3采用芯片级MICRO FOOT封装的P沟道第三代TrenchFET功率MOSFET[J].电子设计工程,2010,18(5):154-154.
4用相位掩模光刻制作光纤内的布拉格光栅[J].国外激光,1994(6):29-30.
5郭俊,王锋,金谋平.准八木型宽带微带天线单元的设计[J].现代电子,2002(2):25-27. 被引量：6
6赵军仓,侯宏伟,张俊,罗广军.C波段微带阵列天线的设计分析[J].计算机测量与控制,2007,15(6):780-781. 被引量：6
7李岩,汪海明,郭士德,赵建业,余道衡.CORDIC算法在DSP算法硬件实现中的应用进展[J].现代电子技术,2002,25(6):85-89. 被引量：11
8孙加兴,叶甜春,陈大鹏,谢常青,伊福庭.用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅[J].Journal of Semiconductors,2004,25(3):358-360. 被引量：3
9陈星.DIY与产品的创新[J].现代制造技术与装备,2014,50(6):76-77. 被引量：2
10周月豪,柳海鹏,熊良才.激光诱导湿刻在微结构加工中的应用[J].激光与光电子学进展,2004,41(10):43-47. 被引量：3

赤峰学院学报（自然科学版）

2015年第5期

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