两项电子气体国标颁布

日前,国家质检总局、国家标准化管理委员会发布公告,《电子工业用气体高纯氯》和《电子工业用气体氯化氢》正式颁布。 参与这两项标准制修订工作的中昊光明化工研究设计院有限公司相关人士表示,高纯氯和氯化氢是电子工业的重要原材料,它们主要在半导体制备过程中用作刻蚀剂和清洗剂等。