基于LabVIEW的单片式晶片自动化电镀设备通信系统

介绍了基于Lab VIEW软件开发的单片式晶片自动化电镀设备的控制系统,详细阐述了各控制模块之间的通信。设备具备即时工作状态显示、完善的工艺数据库管理和详细的历史记录存储等功能。