光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势

光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形。本文对光致抗蚀剂用光产酸剂进行初步介绍,分析了光致抗蚀剂用光产酸剂的最新研究进展,并对今后的发展做了相关的预测与展望。