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出处
《科技开发动态》
2001年第10期37-37,共1页
R&D Information
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1陈伟明,刘业异.物镜恒温水控制的算法研究[J].微细加工技术,1998(3):26-30.
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2梁宜勇.全数字化激光直写转台系统[J].光电工程,2004,31(5):1-3.
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3谢传钵.分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究[J].光电工程,1996,23(4):65-72. 被引量：10
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4伍凡,许全益,刘燕秋.大口径、高精度光学透镜的光胶工艺技术[J].光学仪器,1996,18(6):20-24.
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5杜春雷,周礼书,邱传凯,白临波,王永茹,邓启凌.衍射微透镜列阵的研究与应用[J].光学技术,1998,24(3):17-19. 被引量：6
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6陈林森,邵洁,王雪辉,徐兵,解剑峰,沈雁.一种二元整形元件激光直写方法的实验研究[J].光子学报,2005,34(3):346-349. 被引量：15
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7李学民,卢国纬,周礼书.折射型微透镜列阵制作的一种新途径[J].电子科技大学学报,2000,29(3):294-296.
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8张红鑫,卢振武,李凤有.人工仿生复眼的研究进展[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2006,29(2):4-7. 被引量：12
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9沈亦兵,杨国光,侯西云.激光光刻中的超分辨现象研究[J].光学学报,1999,19(11):1512-1517. 被引量：4
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10王惠卿.一种新型分度轴精度分析[J].机械设计与制造,2007(8):96-97. 被引量：1
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