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全自动晶圆电镀系统软件开发 被引量:1

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摘要 根据客户需求自主开发全自动晶圆电镀设备,研究了基于Lab VIEW模块化控制系统的设计,完成了多线程协调控制以及多线程间数据交换技术,实现了对晶圆自动化电镀设备的协调控制,达到预期设计的目的。
出处 《机械制造》 2015年第4期22-25,共4页 Machinery
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