惯性技术之窗：微型惯性装置研发溯源

“微电子”技术与“微机械”技术相结合，形成了一代全新的微机电系统（MEMS）。利用光学技术或振动质量的微型惯性仪表已切实可行。它没有连续转动的部件，寿命、可靠性、成本、体积和重量等方面都优于常规惯性仪表，适用于较恶劣的环境。