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碳纳米管-铜复合材料及其微细配线

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摘要 电子器件为了增加功能和缩小体积,不断地往小型化发展。所用布线也越来越细。碳纳米管就是适应这种需要,将一层石墨的碳二维层,制成筒状,成为直径为数rim到数+nm的圆筒状碳材料。日本产业技术综合研究所山田健朗采用有机系铜镀液,进行电解镀,使碳纳米结构体内部析出铜核子,再在氢气氛下还原处理,最后用水溶性镀铜也进行第二阶段镀铜,这样就可以在碳纳米管内部以及碳纳米管之间都镀上铜,
出处 《金属功能材料》 CAS 2015年第2期40-40,共1页 Metallic Functional Materials
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