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浅述高纯三氟甲烷的生产及应用 被引量：2

Synthesis and Application of High- Purity Trifluoromethane
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摘要 概述了高纯度三氟甲烷的合成和提纯方法,介绍了高纯三氟甲烷的主要用途,讨论了高纯三氟甲烷国产化的价值和可行性。 Various methods of synthesis,purification and applications of high- purity CHF3 was introduced.The significance and feasibility of localization of high- purity CHF3 was also discussed.
作者 何双材 徐娇 胡欣 齐海 张金柯 白占旗
机构地区 浙江省化工研究院有限公司
出处 《有机氟工业》 CAS 2015年第1期12-18,共7页 Organo-Fluorine Industry
关键词 高纯 三氟甲烷 合成 提纯 用途 high-purity trifluoromethane synthesis purification application
分类号 TQ222.213 [化学工程—有机化工]
  • 相关文献

参考文献24

  • 1韩文锋,靳碧波,周强,王树华.三氟甲烷(HFC-23)的资源化转化利用[J].化工进展,2014,33(2):483-492. 被引量：14
  • 2李文洙．气体安全手册[M]．北京：中国科学技术出版社，1996．
  • 3张超智.一种制备三氟甲烷的方法:中国,103012052A[P].2013-04-03.
  • 4原东升.采用低温间歇精馏工艺制备高纯三氟甲烷的方法:中国,201110423419.4[P].2012-04-18.
  • 5原东风.氟利昂22催化歧化反应制备三氟甲烷的装置:中国,2011120530957.9[P].2012-09-05.
  • 6郭心正,蔡珍香.三氟甲烷的改进制备方法:中国,85105080[P].1986-12-31.
  • 7韦斯特JL,勒劳JJ.氟化甲烷的制备:中国,1131938[P].1996-09-25.
  • 8陈克明.F22生产的氟化反应机理[J].含氟材料,1987(3):1-2,47.
  • 9李挡.氟立昂(F_22)产品生产的工艺改进[J].适用技术市场,2001(9):19-20. 被引量：1
  • 10尤因PN,洛RE,希尔德CJ.氟化氢的回收方法:中国,252039[P].2000-05-03.

二级参考文献72

  • 1张锦,冯伯儒,杜春雷,王永茹,周礼书,侯德胜,林大键.反应离子刻蚀工艺因素研究[J].光电工程,1997,24(S1):47-52. 被引量：22
  • 2赵毅红,陈荣发,刘伯实.Si_3N_4薄膜的成分与结构研究[J].真空,2004,41(4):71-73. 被引量：8
  • 3吴清鑫,陈光红,于映,罗仲梓.PECVD法生长氮化硅工艺的研究[J].功能材料,2007,38(5):703-705. 被引量：30
  • 4Park C K,Kim H T,Lee C H.Effects of CH2F2 and H2 Flow Rates on Process Window for Infinite Etch Selectivity of Silicon Nitride to ArF PR in Dual-Frequency CH2F2/H2/Ar Capacitively Coupled Plasmas[J].Micrelectronic Engineering.85(2008):375-387.
  • 5Ying Wang,Lero Luo.Ultrahigh-Selectivity Silicon Nitride Etch Process Using An Inductively Coupled Plasma Source[J].American Vacuum Society,1998,16(3):1582-1587.
  • 6Baris Fidan,Rasen I G,Tyler Parent.Multi-Variable Adaptive Control of CF4-O2 Plasma Etching of Silicon Nitride Thin Films[C]//Proceedings of the American Control Conference.2001:1280-1285.
  • 7斯蒂芬A 坎贝尔.微电子制造科学原理与工程技术[M](第二版).北京:电子工业出版社,2003.
  • 8Chang C Y,Sze S M.ULSI Technology[M].Mc Graw Hill,New York.Publication Services,Inc.1996.
  • 9马洋博,吕剑.三氟碘甲烷合成和应用研究进展[J].化工生产与技术,2007,14(4):8-10. 被引量：6
  • 10Lee Robert E. Microfabrieation by ion beam etching [J]. J Vac Sci Technol, 1979, 16(2): 164- 170.

共引文献27

同被引文献8

引证文献2

有机氟工业
2015年 第1期

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