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华虹半导体与丽恒光微电子联手推出全球最小气压计
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摘要
华虹半导体与丽恒光微电子日前共同宣布,联合推出全球最小气压计PS3606,其采用华虹半导体创新的MEMS制造技术和丽恒光微电子的单芯片集成传感器方案设计,整个传感器产品尺寸为1.1mm×0.9mm,厚度仅为0.45mm。该产品也是全球第一款采用晶圆级封装的单芯片集成气压计。
出处
《中国集成电路》
2015年第4期2-2,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
气压计
微电子
半导体
集成传感器
产品尺寸
晶圆级封装
制造技术
MEMS
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国集成电路
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