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华虹半导体与丽恒光微电子联手推出全球最小气压计

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摘要 华虹半导体与丽恒光微电子日前共同宣布,联合推出全球最小气压计PS3606,其采用华虹半导体创新的MEMS制造技术和丽恒光微电子的单芯片集成传感器方案设计,整个传感器产品尺寸为1.1mm×0.9mm,厚度仅为0.45mm。该产品也是全球第一款采用晶圆级封装的单芯片集成气压计。
出处 《中国集成电路》 2015年第4期2-2,共1页 China lntegrated Circuit
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