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应用材料推出新的电子束量测设备
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摘要
应用材料公司日前宣布推出业界首款在线3D扫描电子线宽量测系统,成功解决了针对高纵横比和3DNAND及FinFET等复杂功能器件量测方面的挑战。这款名为VeritySEM5i的量测系统借助尖端高清晰度成像技术和背散射电子(BSE)技术,能实现卓越的在线线宽控制。通过使用VeritySEM5i系统,芯片制造商能显著加快工艺开发和产能扩张速度,同时提高器件性能,实现大批量生产。
出处
《中国集成电路》
2015年第4期3-3,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
应用材料公司
量测系统
电子束
设备
FINFET
成像技术
线宽控制
背散射电子
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
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