基于旋转法的球面干涉仪系统误差标定方法

本文提出了旋转法标定球面干涉仪系统误差的方法，该方法根据Zemike多项式的性质，通过旋转被测球面零件，可以消除干涉仪测量光学球面面形误差时所存在的固有系统误差，可实现数字球面干涉仪的绝对校准，同时也可对被测球面零件进行绝对测量。