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中科院上海微系统所制备出六方氮化硼单晶畴
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摘要
中科院上海微系统所卢光远和吴天如等科研人员采用化学气相沉积(CVD)方法,成功在铜镍合金衬底上制备出单层高质量六方氮化硼(h—BN)单晶畴,单晶面积较之前文献报道高出约两个数量级。专家认为,该项研究进展为研发晶圆级h—BN、h—BN/石墨烯异质结和超结构奠定了重要实验基础。相关研究成果发表于《自然一通讯》期刊上。
作者
鲁陶
出处
《山东陶瓷》
CAS
2015年第1期32-32,共1页
Shandong Ceramics
关键词
六方氮化硼
微系统
中科院
晶畴
制备
上海
化学气相沉积
科研人员
分类号
O613.81 [理学—无机化学]
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山东陶瓷
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