期刊文献+

接触式表面轮廓测量仪的非线性误差分析与补偿 被引量:2

原文传递
导出
摘要 分析了大量程接触式轮廓测量过程中非线性误差产生的原因,改进了测杆结构,建立了非线性误差模型,推导出多项式拟合误差的补偿算法,采用标准球通过实验反算出多项式系数并验证了该方法的可靠性。
出处 《计量技术》 2015年第5期10-13,共4页 Measurement Technique
基金 2013年湖北省教育厅自科类重点科研项目(D20132602)
  • 相关文献

参考文献8

  • 1Lee C K. Diferential laser interferometer for nanometer displacementmeasurement. AIAA Journal, 1995 (9) : 1675 - 1680.
  • 2D. K. Bowen etal Sub - nanometer Transducer characterization by X - ray interferometry, Precision Engineering, 1990, 12 ( 3 ) : 165 -173.
  • 3Bobref N. Recent advances in displacement measuring interfereme- try. Meas. Sei. Technol. 1995(4) : 907 -26.
  • 4Brand U, Hermann K. A laser measurement system for the high - pre- cision calibration of displacement transducers. Meas. Sci. Technol, 1996(7) : 911 -917.
  • 5王生怀,杨旭东,谢铁邦.双衍射光栅位移传感器原理及应用[J].计量技术,2008(6):7-10. 被引量:10
  • 6Rank Taylor Hobson Ltd. The Form Talysurf Series 2 Operator's Handbook (Leicester: Rank Taylor Hobson) Publication no K505/ 9, 1996.
  • 7Chang- Ock Lee, Kilsu Park, Byong Chon Park and Yoon Woo Lee. An algorithm for stylus instruments to measure aspheric surfaces. Meas. Sci. Technol. 2005 (16) :1215 - 1222.
  • 8Nelder J A and Mead R. Simplex method of function minimization Comput. J. 7 308 - 13, 1965.

二级参考文献4

共引文献9

同被引文献3

引证文献2

二级引证文献2

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部