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英飞凌采用300mm薄晶圆批量生产汽车功率场效应管

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摘要 2015年5月20日,英飞凌科技股份公司采用300 mm薄晶圆生产汽车功率场效应管。OptiM OSTM5 40 V产品系列针对二氧化碳减排应用进行了优化,产品在英飞凌位于奥地利菲拉赫的晶圆厂生产。英飞凌的300 mm薄晶圆工艺,是新一代汽车功率场效应管产品系列实现性能提升的一个重要基础。
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期430-430,共1页 Semiconductor Technology
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