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化学气相沉积法制备α-Fe_2O_3薄膜及其性能测试——推荐一个材料化学实验 被引量:1

Characterization of α-Fe_2O_3 Film Prepared by MOCVD Method
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摘要 以配合物乙酰丙酮铁为前驱体,利用超声雾化的方法进行化学气相沉积制备α-Fe2O3薄膜,并对其结构和性能进行测试表征。 Using Fe (acac) 3 ( acac = acetylacetone) organic chemistry vapour deposition (MOCVD) method and optical properties of the film were characterized. as the solid source, α-Fe2 03 thin film was prepared by metal with ultrasonic nebulization device. The structural, electrical
作者 刘斌 杨建辉
出处 《大学化学》 CAS 2015年第3期51-55,共5页 University Chemistry
基金 国家基础人才培养基金(Nos.J1103311 J1210057) 西北大学实验教学项目(No.20120011)
关键词 超声雾化 Α-FE 0 薄膜 化学气相沉积(MOCVD) Ultrasonic nebulization α-Fe203 thin film Chemical vapor deposition
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参考文献4

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