摘要
以配合物乙酰丙酮铁为前驱体,利用超声雾化的方法进行化学气相沉积制备α-Fe2O3薄膜,并对其结构和性能进行测试表征。
Using Fe (acac) 3 ( acac = acetylacetone) organic chemistry vapour deposition (MOCVD) method and optical properties of the film were characterized. as the solid source, α-Fe2 03 thin film was prepared by metal with ultrasonic nebulization device. The structural, electrical
出处
《大学化学》
CAS
2015年第3期51-55,共5页
University Chemistry
基金
国家基础人才培养基金(Nos.J1103311
J1210057)
西北大学实验教学项目(No.20120011)