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In-Situ Rs and Improvement in Thermal Stability of Nickel Silicides Using Different Interlayer Films

In-Situ Rs and Improvement in Thermal Stability of Nickel Silicides Using Different Interlayer Films
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出处 《材料科学与工程(中英文A版)》 2015年第3期164-170,共7页 Journal of Materials Science and Engineering A
关键词 高热稳定性 硅化镍 原位 镍硅化物 腐蚀速率 NISI 电阻率 Interlayer, in-situ Rs, NiSi, silieide.
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参考文献13

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