微型铣刀外径视觉测量系统的照明设计

为了满足微型铣刀外径视觉测量系统的照明需求,设计并制作了一种基于柯勒照明原理的平行光源。平行光源由白光LED、孔径光阑和3组组合透镜组成,使用zemax对光路进行了仿真。设计并加工了多级可调金属圆筒机械结构,将光源各部分器件固定组合,光源总长为142 mm。搭建了微型铣刀外径视觉测量系统,并分别使用漫射背光光源和平行背光光源对铣刀进行照明成像。实验结果表明,平行背光照明提高了铣刀测量系统的测量精度,降低了铣刀的测量离差。