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Study of Plasma and Ion Beam Sputtering Processes

Study of Plasma and Ion Beam Sputtering Processes
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机构地区 Accelerators and
出处 《Journal of Physical Science and Application》 2015年第2期128-142,共15页 物理科学与应用(英文版)
关键词 等离子体源 离子束溅射 溅射工艺 薄膜生长 高能粒子 气体放电 提取技术 溅射技术 Plasma, ion sputtering, gas mixing, electron injection.
  • 相关文献

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