金刚线切割硅材料废液中的硅粉回收方法

本文提出一种从金刚线切割硅材料废液中回收硅粉的方法,采用的是用微孔材料进行物理过滤的方法,既能回收硅粉,又能使过滤后的切割液重新循环利用,环保而经济。