摘要
中国科学院宁波材料技术与工程研究所微纳功能材料与器件课题组在三维微纳结构制造系统的基础上,通过多材料微打印技术制造了静电控制的三维微机械开关(该技术已申请发明专利:2014106929420)。研究人员首先通过直写技术制作了由成对弯曲铜纳米线构成的微开关,结合理论分析结果,研究了铜纳米线器件受静电场影响发生形变的规律,并对三维开关系统的结构进行了重新设计。
出处
《中国材料科技与设备》
2015年第3期69-69,共1页
Chinese Materials Science Technology & Equipment