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昭和电工增产高纯度氟化氢

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摘要 昭和电工2015年4月21日宣布,将强化高纯度氟化氢(HF)的生产体制j在增强现有设备的同时,还将在中国建设新设备,满足半导体制造工序中不断扩大的应用需求。 在此次的体制强化中,昭和电工已于2015年3月将川崎事业所(川崎市)已有设备的产能提高了一倍。此外还将在其全资子公司——上海昭和电子化学材料有限公司内新建生产设备,以满足中国市场的需求。新设备计划2015年4月开工建设,年内投入运转。按计划,新设备的产能与川崎事业所为同等规模。
出处 《低温与特气》 CAS 2015年第3期53-53,共1页 Low Temperature and Specialty Gases
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