时间滤波器在工件台设定值滤波中的应用

问题的提出 工件台是扫描光刻机核心分系统之一,具有水平向和垂向六自由度,在扫描曝光过程中,承载硅片或基板水平向高速运动,同时通过不断调整垂向位姿,使曝光区域的硅片或基板上表面总体上与物镜焦面重合。硅片或基板表面形貌按空间分布,可分为整体面形和局部面形两部分。