多晶硅项目洁净管道的施工技术

分析了多晶硅项目中影响管道洁净的因素,制订了保证管道洁净施工的工艺技术措施,保证了多晶硅项目中工艺管道施工的洁净度要求,满足了多晶硅生产要求。