共烧膜电阻制作可行性研究

针对LTCC上后烧电阻阻值不稳定的问题，提出了共烧工艺制作膜电阻。通过将三种不同共烧电阻浆料用相同网版制作电阻，经验证三种方阻的浆料两个批次间的一致性较好。通过设计修正可以使三种不同方阻的浆料满足调阻的要求。电阻在完成试验后稳定性较好。试验证明在阻值变化率要求不小于±1％的情况下，共烧工艺是可行的。