期刊文献+

影响超纯氩产品稳定性的原因分析与对策

下载PDF
导出
摘要 应用过程方法的原理,将超纯氩气的生产分解为4个过程,指出了影响超纯氩气产品稳定性的原因与对策。结果表明,控制好超纯氩生产的4个过程,就能保证超纯氩的稳定性。
作者 徐刚
出处 《山东化工》 CAS 2015年第14期134-137,共4页 Shandong Chemical Industry
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献3

  • 1K·Sugiyama.F.Nakahara.T.Ohmi.为更低的亚微米ULSI工艺设计一个系统[J].微污染,1996,:29-102.
  • 2S·Grebe K·Siefering.APIMS做的MFCS的湿度释放测试记录[M].,1996..
  • 3Burggraaf.氮气仅仅是氮气对吗?[J].半导体国际杂志,1994,.

共引文献8

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部