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Physik Instrumente发布Plglide HS Planar XY气浮工件台
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摘要
近来，Physik Instrumente发布Plglide HS Planar XY气浮工件台，适用于晶圆检测和切割应用以及其它超精密运动应用，如平板检测。
出处
《伺服控制》
2015年第5期15-15,共1页
Servo Control
关键词
工件台
HS
气浮
圆检测
超精密
应用
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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.微细加工技术,1998(3):20-25.
被引量：3
2
KLA-Tencor发布新型旗舰晶圆检测解决方案组合[J]
.中国集成电路,2012(3):3-4.
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张霄,彭维.
基于Hough变换的圆形物体的检测[J]
.传感器与微系统,2006,25(4):62-64.
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李锋.
松下SL1200MKⅡ唱机剖析、保养和调整[J]
.高保真音响,2006(6):56-59.
5
王涤涤.
气浮之梦（下）[J]
.高保真音响,2007(4):49-53.
6
王涤涤.
气浮唱臂[J]
.现代音响技术,2008(5):64-67.
7
蔡晋辉,蒋庆,周泽魁,施丽莲.
圆检测HOUGH变换的改进算法研究[J]
.模式识别与人工智能,2004,17(1):72-76.
被引量：16
8
一种基于霍夫变换的圆检测方法[J]
.白城师范学院学报,2016,0(2):65-68.
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李峰.
松下SL1200MKⅡ唱机剖析、保养和调整（续）[J]
.高保真音响,2006(8):49-50.
10
樊星,吴云峰,叶玉堂,黄永林.
PCB光电检孔机系统的关键图像算法[J]
.中国科技信息,2009(6):104-105.
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伺服控制
2015年 第5期
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