用于气体回收和再利用的系统和方法

申请（专利）号：201510017698．2 公开（公告）日：2015-07—15 申请（专利权）人：气体产品与化学公司 摘要：工艺气体，例如但不限于氦气，可用于制造各种物品。本文中描述了收集、再利用和再循环在生产过程中使用的工艺气体，而不是将这些物料作为废弃物处理。