名词解释

电子束光刻用低功率密度的电子柬照射工件表面虽不能引起表面的温升，但入射电子与高分子材料的碰撞，会导致它们的分子链的切断或重新聚合，从而使高分子材料的化学性质和分子量产生变化，这种现象叫电子束的化学效应，也称为电子束曝光。利用这种效应进行加工的方法叫电子束光刻。