韩国利用CMOS和碳纳米管制成生物传感器

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摘要韩国科学技术院（Korea Advanced Institute of Science and Technology，KAIST）在半导体电路技术国际学会“ISSCC2015”上发表论文演讲，介绍了使用CMOS与碳纳米管制成的医疗用传感器（演讲编号：16．6）。该传感器是在利用0．35μm工艺制造的CMOS晶圆上配置碳纳米管电极制成的。

出处《中国粉体工业》 2015年第2期47-47,共1页 China Powder Industry

关键词碳纳米管电极韩国科学技术院生物传感器 CMOS 管制利用国际学会电路技术

分类号 TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]

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