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等厚干涉测量微位移 被引量:1

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摘要 本文介绍了在多级光杠杆测量微位移的基础上,结合光学的等厚干涉原理以及光路可逆原理,设计出一种理论上测量精度达1nm以下微位移测量方案。相对于纯粹的光杠杆测量微位移方法而言,该方法在系统设计上更具优势。
出处 《科技风》 2015年第18期53-53,共1页
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参考文献2

二级参考文献12

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