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三氯氢硅生产工艺的优化
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摘要
本文针对三氯氢硅生产工艺中存在的问题,提出了具体的整改措施,并阐述了方案实施后取得的良好经济效益和环境效益。
作者
李雪瑛
机构地区
唐山三孚硅业股份有限公司
出处
《中国新技术新产品》
2015年第21期59-59,共1页
New Technology & New Products of China
关键词
三氯氢硅
生产工艺
改造
优化
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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