中微第400个反应台设备交付台湾领先客户

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摘要中微半导体设备有限公司迎来了一个重要的里程碑：中微反应台交付量突破400台（相当于100台系统设备）。具有里程碑意义的第400个反应台是先进的电介质刻蚀反应台，已交付台湾一家领先客户。这400个反应台已在33条客户生产线上投入运行，包括电介质刻蚀设备、硅通孔刻蚀设备和用于LED及功率器件生产的MOCVD设备。

出处《集成电路应用》 2015年第8期44-44,共1页 Application of IC

关键词半导体设备刻蚀反应客户交付台湾地区 MOCVD设备刻蚀设备功率器件

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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