半色调掩膜在TFT-LCD中的应用

随着彩色显示的快速发展,LCD的彩色化无可逆转。据市场调查机构的统计,到2010年,LCD彩色化比率将高达94%。在液晶面板生产商不断投建高世代线、扩大生产规模的今天,各液晶面板厂商面对强大的市场竞争压力,其液晶面板制造的利润已大大摊薄。在竞争加剧、价格持续跳水的市场压力下,降低成本已是各面板厂维持生存的必要手段。降低原材料成本、减少生产工艺流程等级手段已被各公司采用。以此来压缩生产成本,提高企业利润额,提升市场竞争力。采用半色调掩膜版(Half Tone Mask),把两道上曝光工艺完成的工序合并为一个,节省一道曝光工序,缩短了生产周期,提高了生产效率,降低了生产成本,提高了市场竞争能力。文章分为:一、半色调掩膜(Half Tone Mask)工艺和原理;二、半色调掩膜(Half Tone Mask)在TFT-LCD Array基板制作中的应用;三、半色调掩膜(Half Tone Mask)在TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器件)CF基板制作中的应用。