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2015年以来实施或即将实施的含硅系列标准

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摘要 GB/T12963—2014《电子级多晶硅》。规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
作者 吴世清
出处 《化工生产与技术》 CAS 2015年第4期63-64,共2页 Chemical Production and Technology
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