浅析硅铝靶工艺气体流量对Low—E玻璃钢化前后玻面色差的影响

本文通过实验，详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩／氮气比例时，Low-E玻璃钢化前后玻面色差的变化，指出为了生产高质量可钢化Low—E玻璃，在硅铝靶使用不同的溅射功率时，如何选择最优的工艺气体流量和氩／氮气比例。