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浅析硅铝靶工艺气体流量对Low—E玻璃钢化前后玻面色差的影响

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摘要 本文通过实验,详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩/氮气比例时,Low-E玻璃钢化前后玻面色差的变化,指出为了生产高质量可钢化Low—E玻璃,在硅铝靶使用不同的溅射功率时,如何选择最优的工艺气体流量和氩/氮气比例。
作者 郭明
出处 《建筑玻璃与工业玻璃》 2015年第8期20-23,共4页 Architectural Glass and Functional Glass
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