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PlanarDLA轻薄型XY直线电机平台 艾罗德克运动控制技术(上海)有限公司

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摘要 Aerotech推出一系列集成开放式架构平台,具有精确的几何性能和微米级直线度。此款新型PlanarDLA平台包括高精度滚柱轴承、精确加工表面和通过刚性轴心驱动的无接触直线电机,这些特点可以实现±0.5μm的直线度和±1.25μm的平直度。
出处 《传感器世界》 2015年第9期39-39,共1页 Sensor World

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