硒化锌平面光学元件胶盘工艺研究

硒化锌是一种在红外光学系统中被广泛应用的优良材料。在光学冷加工中，对异形、薄型的硒化锌平面光学元件如何获得较高的面形精度是长期以来的加工难题。其中，胶盘工艺直接影响元件在盘上和盘下的面形变化是加工过程中一道重要的基础工序。通过对某产品硒化锌平面光学元件胶盘工艺的研究和试验，优化出最佳胶盘方式，结果表明，改进后的工艺元件下盘后面形变化较小，△N≤1。