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辉光放电等离子体特性实验研究 被引量:1

Experimental Studies on Plasma Characteristics of Glow Discharge
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摘要 介绍了朗缪尔探针法测等离子参量实验的基本原理。分别利用两种方法对等离子参量进行测量,对实验数据进行处理、计算,并对结果做了分析、讨论。 Briefly introduces the basic principles to measure rameters is measured respectively in two methods, with the experiment result analyzed and discussed. plasma parameters by Langmuir probe. Plasma experiment data processed and calculated, and pa- the
出处 《大学物理实验》 2015年第5期18-21,共4页 Physical Experiment of College
关键词 等离子体 放电管 气体放电 plasma discharge gas discharge
  • 相关文献

参考文献6

二级参考文献37

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  • 5Shinji Saitoh et al 1998 Thin Solid Film 316 165
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  • 7Sun M, Yang S Z et al 1996 J Vac Sci Technol A 14 367
  • 8Liu B, Zhang G L, Yang S Z et al 2001 J Vac Sci Technol A 19(6) 2958
  • 9Wang J L et al 2002 Chin Phys Lett 19(10) 1473
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共引文献52

同被引文献3

引证文献1

二级引证文献1

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